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薄膜技術、薄膜製品 (開発 & 量産)
アプリケーション (一例)
1. 反射防止膜(紫外、可視、赤外)
2. 高反射膜
3. BPF,LPF,SPF, 各種干渉膜対応
4. 光機能膜(ITO膜, 防曇膜etc.)
コア技術
1. 高精度成膜技術
2. 低温プロセス
3. プラズマを利用した成膜技術
成膜方式
1. 真空蒸着
2. イオンプレーティング, IAD
3. スパッタリング
対応基板
1. ガラス, プラスチック, 半導体